多結晶シリコンウエハのルーレット サッカー測定

半導体の研究・開発では,基本的な物性量であるバンド ギャップ(禁制帯幅)の測定が行われます。多結晶シリコンウェハを測定し、オプションソフトウェアであるルーレット サッカー計算エクセルマクロを使用して、ルーレット サッカーを算出可能です。

紫外・可視・近赤外分光光度計 ルーレット サッカー Plus

紫外・可視・近赤外分光光度計
UV-3600i Plus

  • 紫外・可視・近赤外分光光度計 ルーレット サッカー Plus

    紫外・可視・近赤外分光光度計
    UV-3600i Plus

  • MPC-603で測定したスペクトルを使った接線作成

    MPC-603で測定したスペクトルを使った接線作成

ルーレット サッカー透過率測定

ルーレット サッカー用型ガラスは透過率測定を行う場合、表面に凹凸があり、照射した光が乱反射するため、積分球内での光の挙動が、ベースライン補正時と試料測定時で大きく異なります。これが原因で検出器の切替波長で段差が生じることがあります。紫外可視分光光度計UV-3600iPlusとISR-1503(三検出器搭載 150 mmφ 積分球)を用いることにより、検出器切替波長でほとんど段差のないスペクトルが得られます。

ISR-1503を取り付けたルーレット サッカー Plus

ISR-1503を取り付けた
UV-3600i Plus

  • ISR-1503を取り付けたルーレット サッカー Plus

    ISR-1503を取り付けた
    UV-3600i Plus

  • ISR-1503を用いて測定したルーレット サッカースペクトル

    ISR-1503を用いて測定した
    ルーレット サッカースペクトル

Top of This Page