装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ内臓型のコンパクトな可搬形汎用機です。
性能・仕様
| 検出感度 | 10-13～100Pa・m3す とり っ ぷ ルーレット［He］ |
|---|---|
| 検出ガス | 水素/ヘリウム |
| す とり っ ぷ ルーレット管 | 270°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T） イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵） 温度補正付自動チューニング感度校正 |
| す とり っ ぷ ルーレット系 | モレキュラードラッグポンプ（排気構造 70Lす とり っ ぷ ルーレット） 非接触型構造ドライす とり っ ぷ ルーレットポンプ(110L/min) ピラニす とり っ ぷ ルーレット計（2系統） |
| テストポート | 最大圧力 1000Pa 接続口 NW25KF ヘリウム排気速度 3Lす とり っ ぷ ルーレット |
| す とり っ ぷ ルーレット | 本体 約59kg |
| 電源 | 単相 AC100/110/115/120/200/220/230/240V ±10%, 50-60Hz, 700VA のいずれかをオーダ時に一つ指定 |
| 入出力 | RS-232Cインターフェイス EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット） |
外形寸法
