バックショットルーレット型ターボ分子ポンプ　電源別置き型TMP-5305

バックショットルーレットボ分子ポンプ		TMP-5305LMC	TMP-5305LMTC
吸気口側フランジ		VG400 / ISO400B
バックショットルーレット側フランジ		KF63
冷却方法		水冷
到達圧力（ベーキング後）		10^-7 Paオーダ
Arの最大許容流量		2250 mL/min^{※1 ※2}	1000 mL/min（設定バックショットルーレット：65 ℃）^{※1 ※4}
連続運転時の最大吸気口圧力		15 Pa
連続運転時の最大バックショットルーレット圧力		270 Pa
バックショットルーレット^※3	N₂	5300 L/s
	Ar	5100 L/s
	H₂	3200 L/s
圧縮比	N₂	3×10⁸
圧縮比	H₂	2×10³
規定回転数		20580 rpm
起動時間		12分
取り付け方向		垂直方向のみ
振動［弊社測定方法による］		0.01 μm以下（片振幅）
推奨バックショットルーレット流量^※1		30 ～ 100 mL/min
ガスパージ時の推奨補助バックショットルーレットの排気速度		10000 L/min以上
設定バックショットルーレット		－	65 ℃, 75 ℃^※5
許容周囲バックショットルーレット		0 ～ 40 ℃	10 ～ 40 ℃
許容磁束密度	半径方向	3 mT
許容磁束密度	軸方向	15 mT
冷却水	流量	4 ～ 6 L/min
	水圧	0.2 ～ 0.4 MPa
	水温	5 ～ 25 ℃	20 ～ 30 ℃
質量		160 kg

※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。（SCCM表記と等価です。）
※2:最大許容流量は、「ガス種類」、バックショットルーレット、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN₂ガスに対するバックショットルーレットは4950 L/sとなります。
※4:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「バックショットルーレットの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
※5:バックショットルーレットセンサのモニタ値を使い、冷却水による冷却をONにするバックショットルーレットです。なお、ヒータは設定バックショットルーレット－1 ℃でON／OFFします。

電源装置		EI-A05M	EI-A05MT
バッテリ		不要
バックショットルーレット温調の設定温度		－	65 ℃, 75 ℃
組合わせ互換性		ポンプ、電源装置、バックショットルーレットケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり	ポンプ、電源装置、バックショットルーレットケーブル、モータケーブル、温調ケーブルの組合わせ互換性あり
回転数可変		規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位）
外部制御	接点入出力	REMOTE（MR-34）
		入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED
		出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING	出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / TEMP.STABLE
	シリアルインバックショットルーレットフェース	フロントパネル：RS-232C（D-sub 9ピンオス、固定金具M2.6）
		リアパネル：RS-485（D-sub 9ピンオス、固定金具M2.6）（2線式）
		オプション：EtherCAT
許容周囲条件	バックショットルーレット	動作時0 ～ 45 ℃（ただし結露しないこと）
許容周囲条件	湿度	40 ～ 80 %RH
入力電源	電圧	単相 AC 200 ～ 240 V（50 / 60 Hz）
入力電源	所要電力	2.4 kVA	3.3 kVA
質量		9 kg