簡単な機構で、どなたにでも手軽に操作ができ、本格的なモンスト ルーレット蒸着が行えます。理化学実験用、表面分析資料作成用、小規模生産用など広い分野でご利用いただけます。 （写真のSUSベルジャーはオプションです。）
| モンスト ルーレット性能 | 形成膜 | 金属等 |
|---|---|---|
| 膜厚分布 | ø50mm area±5% ø100mm area±10% |
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| モンスト ルーレット方式 | 抵抗加熱方式 | |
| モンスト ルーレット電源 | AC10V 100A（Max） | |
| モンスト ルーレット制御 | 電圧制御 | |
| ボート切替器 | 別置き | |
| 基板性能 | サイズ | ø100mm以下 |
| 回転機構 | 無し | |
| 排気性能 | 主ポンプ | ターボ分子ポンプ（50 L/s） |
| 補助ポンプ | 油回転モンスト ルーレットポンプ（160L/min） | |
| 到達圧力 | 1.0E-4Pa order（1 hour） | |
| ポンプ排気 | 許容排気口圧力 20kPaG以下 | |
| 電 源 | AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、1.7KVA（1 電源） AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、2.7KVA（2 電源） |
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| アース | D種接地 | |
| 重 量 | 装置本体 ： 48kg 油回転モンスト ルーレットポンプ ： 25kg モンスト ルーレット電源 ： 26kg ボート切替器 ： 4kg |
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| 設置面積 | 本体 ： W400×D400×H670mm（ベルジャ ø250×H330） モンスト ルーレット電源 ： W260×D415×H320mm ボート切替器 ： W200×D320×H115mm |
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| オプション | SUS ベルジャ | |
| 膜厚モニター | ||
| ボート切替器 | ||