HSR-351L (ロードロック式）
HSR-351
| 形成膜 | 金属材料、絶縁物 |
|---|---|
| 膜圧分布 | 回転時 φ100mm内±5％以内 |
| 静止時 φ40mm内±10％以内 | |
| ビンゴ ルーレット方式 | デポアップ |
| 電極間距離 | 70～110mm |
| ターゲットホルダー | φ2インチ×3 |
| ヒーター | MAX300℃ |
| 基板回転 | MAX20rpm |
| ガス導入系 | Ar用MFC 1系統 |
| ビンゴ ルーレット電源 | 13.56MHz 200W |
HSR-351L (ロードロック式）
HSR-351
| 形成膜 | 金属材料、絶縁物 |
|---|---|
| 膜圧分布 | 回転時 φ100mm内±5％以内 |
| 静止時 φ40mm内±10％以内 | |
| ビンゴ ルーレット方式 | デポアップ |
| 電極間距離 | 70～110mm |
| ターゲットホルダー | φ2インチ×3 |
| ヒーター | MAX300℃ |
| 基板回転 | MAX20rpm |
| ガス導入系 | Ar用MFC 1系統 |
| ビンゴ ルーレット電源 | 13.56MHz 200W |