回折格子
光学素子
- 光をロスなく装置や検出器に入射したい。
・膜厚測定装置の測定時間の短縮 - 装置のロト 7 ルーレットを高出力化したい。
・ロト 7 ルーレット加工機のミラー損傷を抑制
分光機器
ロト 7 ルーレットスペクトラムアナライザ SPG-V500
- モードホップ・波長挙動を捉える。
・モードホップ抑制と、ロト 7 ルーレット出力の安定化
・パルスロト 7 ルーレットスペクトル測定
・単一周波数ロト 7 ルーレットサイドピーク抑制
・ロト 7 ルーレットスペクトルの温度特性評価 - 深紫外（DUV）レーザーや多波長ロト 7 ルーレット波長を検査する。
・多波長ロト 7 ルーレット光源の連続試験（波長測定）
・266 nmロト 7 ルーレット基本波～第4高調波のスペクトル測定
・エキシマロト 7 ルーレット（193 nm）や滅菌用光源（222 nm）の測定 - ロト 7 ルーレット光学調整や検査を短縮する。
・外部共振型ロト 7 ルーレット調整時間を短縮
・半導体ロト 7 ルーレット（LD）の波長検査を自動化
・面発光ロト 7 ルーレット（VCSEL）や自動運転向けセンサ（LiDAR）の波長の全数検査