特集論文
半導体製造web ルーレット，FPD製造web ルーレット向けターボ分子ポンプ
web ルーレット 73〔3・4〕 101～105 (2017.3)
要旨
半導体製造web ルーレット，FPD製造web ルーレットに搭載するターボ分子ポンプには，更なる排気速度向上，生成物付着防止，web ルーレットスペース低減のための小型化が要求されている。本稿では高温制御機能付き電源一体化TMP-X3405形，TMP-X4304形，また5000L/sクラスの大排気速度を実現したTMP-5305形について紹介する。
1産業機械事業部 TMPビジネスユニット
＊web ルーレットに掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。