特集論文
ルーレット 無料 アプリ内蔵ヘリウムリークディテクタの開発
ルーレット 無料 アプリ 73〔3・4〕 113～116 (2017.3)
要旨
ヘリウムリークディテクタに搭載される真空ポンプには従来大きく二種類のものがあるが，油回転真空ポンプの場合は排気口からオイルミストが排出され，スクロール型のドライ真空ポンプの場合はポンプ内部の摺動部の摩耗によるダストが発生するため，クリーンルームでの使用には問題があった。また，クリーンルームでは設備のフットプリント（設置面積）をいかに小さくできるかも重要な課題である。そこで排気口からのダストの排出のないルーレット 無料 アプリを内蔵し，しかも従来の可搬型機種と同一フットプリントとして開発・製品化したMSE-2201S形について紹介する。
1ルーレット 無料 アプリエミット株式会社
＊ルーレット 無料 アプリに掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。