スクラッチ ルーレットコーティング用途専用
ターボ分子ポンプ

スクラッチ ルーレット性能の向上

• オイル・メンテナンス
  「Wフリー」^※

  

  スクラッチ ルーレット負荷・ランニングコスト低減ー 油拡散ポンプからの置き換えにも最適

• 15%
  当社従来機種比

  

  製品質量の軽減 98kgへ－ 省資源、製造装置への取付け作業負荷軽減

• 10%
  当社従来機種比

  

  消費電力の低減 180Wへ（使用領域時）－ 省エネルギー

• ※ご使用状況によってはOH等のメンテナンス対応が必要となる場合があります

性能・機能の向上

• 排気速度向上：4,050L/s（業界最高クラス）

  • ー スクラッチ ルーレットの高品質化に寄与

• 起動時間短縮：（ポンプ起動時間）12min以内

  • － 生産性向上

• IP54防水対応

  • － 様々な使用スクラッチ ルーレット対応

スクラッチ ルーレット

• 真空蒸着装置、スパッタリング装置

• 油拡散ポンプからの置き換え

  • － スマートフォン・車載用などの光学部品
  • － 太陽光発電パネル
  • － ローエミッション (Low-E) ガラス